超高纯气体是指纯度高的气体,其杂质含量低,几乎不含杂质。这种气体的纯度通常用ppma(十亿分之一)表示,即百万分之一。超高纯气体在物理、化学性质上具有很多的特点,如分子量、沸点、密度、光吸收等。
超高纯气体的应用非常广泛,如电子工业、半导体制造、激光技术、医学研究、生物技术等。在电子工业中,超高纯气体被用于制造集成电路、半导体器件、太阳能电池等。在激光技术中,超高纯气体被用于激光器的气体介质。在医学研究和生物技术中,超高纯气体被用于细胞培养、基因工程、研发等。
总之,超高纯气体具有的物理、化学性质,其纯度高,应用广泛,是现代工业和科技领域中不可或缺的重要气体。