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高纯气体的使用需要采取一系列的防护措施，以确保使用者的安全和气体的纯度。首先，需要确保气体的纯度，可以通过使用高纯度的气体源和气体净化设备来实现。其次，需要采取防护措施，如穿戴防护服、佩戴防护眼镜和呼吸器等，以防止气体的吸入和皮肤接触。此外，还需要定期检查设备和管道，以确保其正常运行和无泄漏。，需要制定应急计划，以应对可能出现的紧急情况，如气体泄漏或火灾等。
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