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高纯气体的储存是一个需要特别注意的过程，因为它们通常具有极高的纯度和性。储存高纯气体时，需要使用专门的储存设备，如钢瓶、气罐等，并确保设备的密封性良好，以防止气体泄漏。同时，储存设备应放置在通风良好的地方，避免高温、火源等可能引起气体泄漏或的因素。在储存过程中，应定期检查设备的状况，确保其。如果发现设备有泄漏或其他问题，应立即停止使用并进行维修或更换。
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